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                产品展示
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                Class100 洁净烘箱
                Class100 洁净烘箱
                型    号: EVC
                报    价: 35000
                分享到:

                无尘烘箱系列用于●半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂♂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用〓于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老〓化等其他高温试验。

                EVCClass100 洁净烘箱的详细资料:

                    无尘高温试验箱∑,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘ζ 箱,无尘干燥箱,百级无尘㊣ 烤箱,100级洁净烤箱

                Class 100 Clean Ovens

                一、设备用途:
                      Class100 洁净烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于☆电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

                二、产品特点:
                1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
                2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电▓热生产器,防机台本身所产生微尘;
                3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往Ψ 前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自▅动启闭风门)
                4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度∞场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到zui佳温度控制精度。
                 

                三.无尘高温试验箱,洁净烘箱,无尘烤箱,百级无尘烘箱,Class100 洁净烘箱,百级无尘烤箱,100级洁净烤箱产品技○术参数:
                 

                1.主要技术指标:
                   无尘等级:Class 100;                   温度范围: RT+20~+300℃;
                   温度均匀度:200℃±4℃;              温度波动度:±0.5℃(空载)        
                   温控精度:±0.1℃;                        工作尺寸:W800×D600×H1300         
                   电源:380v , 50Hz,15KW           网板:2块(高度可调节∏)

                洁净度100级的洁净热处理
                HEPA高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分▆布的均匀性与100级洁净度。zui小限度控制风╲速距离。
                M计装可编程控制
                1模式20步骤,最多可做10个模式。温度上升·下降斜率设定程序的重复次数在1-999次间设定。
                简单操№作的标准计装
                标准配置定值运行模式以及自动启动·自动停止卐等可设定动作的程序运行。标准配置→温度过升防止器。 

                设备型号温度范围内容积其它参数内尺寸
                (W×D×Hmm)
                外尺寸
                (W×D×Hmm)
                EVC150(RT+60)~+200℃150L洁净度:100级500×500×600770×1100×1,350
                EVC360(RT+60)~+200℃360L洁净度:100级600×600×1000770×1025×1850
                EVC640(RT+60)~+200℃640L洁净度:100级800×800×10001,030×1100×1850
                EVCH150(RT+60)~+350℃150L洁净度:100级500×500×600770×1100×1,350
                EVCH360(RT+60)~+350℃360L洁净度:100级600×600×1000770×1025×1850
                EVCH640(RT+60)~+350℃640L洁净度:100级800×800×10001,030×1100×1850

                2、箱体结构:
                   烘箱由箱体部分、电器控制柜↑、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
                   箱体材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉丝不锈钢,并经碱性苏打水清洁,可防止微尘;
                   内胆材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不□锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污⊙避免烘烤时产生 PARTICLE;
                   中桶材料:采用优质SUS304,2.0mm厚之镜面不◥锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
                 

                3、温控系统:
                   采用日本“神港”温度控制器,控制器LED数字显示及设】定、PID自 动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。;
                   讯号来源:采用PT100热电阻±0.5%。
                   输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。

                4、完善的安全保护措施:
                漏电断路器、     控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、
                马达过电流保护、 机台异常蜂鸣器警示   逆■向防止器、 门面安全开关

                5、选购设备(需另外收费):
                   可≡程式温控器        无纸记录仪        三色指示灯          烘烤架

                注:无尘等级和尺寸可根据要求定制。   


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